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无应变条件下不同电极界面铁电薄膜的极化演化机制研究
【字体: 大 中 小 】 时间:2025年08月31日 来源:Thin Solid Films 2
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本文系统研究了Nb:STO/PTO、SRO/PTO、LSMO/PTO和LCO/PTO四种电极界面体系,通过脉冲激光沉积(PLD)和原子尺度表征技术(HAADF-STEM),揭示了电极功函数差异导致的界面电子转移模式对PbTiO3(PTO)薄膜极化取向的调控机制,为纳米级铁电器件(FeRAM/FeFET)的界面工程设计提供了重要理论依据。
本研究构建了Nb:SrTiO3/PbTiO3(Nb:STO/PTO)、SrRuO3/PbTiO3(SRO/PTO)、La0.7Sr0.3MnO3/PbTiO3(LSMO/PTO)和LaCoO3/PbTiO3(LCO/PTO)四种界面体系,采用脉冲激光沉积(PLD)技术在Nb:STO和STO衬底上生长了3.3-6 nm的PTO薄膜。通过高角环形暗场扫描透射电镜(HAADF-STEM)和压电力显微镜(PFM),揭示了电极界面原子排布与宏观铁电极化的构效关系。
使用Coherent ComPexPRO 201F KrF准分子激光器(λ=248 nm)在STO/Nb:STO衬底上沉积PTO薄膜。其中PTO靶材添加了3 mol%过量Pb,衬底温度700°C,激光能量370 mJ,重复频率4 Hz,氧气压力19.5 Pa。SRO、LSMO和LCO电极层采用相同工艺参数制备。
室温下PTO呈现a=b=3.904 ?、c=4.158 ?的四方相结构。Ti4+离子在Pb2+晶格中的偏移方向决定了[001]方向的自发极化(Ps)。研究发现:LSMO/PTO体系中极化方向背离界面,而SRO/PTO体系则指向界面——这种差异源于电极功函数导致的界面电荷重排。特别有趣的是,在LCO/PTO界面观察到氧空位对极化增强的显著作用,这为设计高性能存储器件提供了新思路。
四种电极/PTO薄膜体系展现出截然不同的极化行为:LSMO电极诱导PTO产生"向外"极化,SRO电极则导致"向内"极化。这种"极化开关"效应主要归因于电极/PTO界面处费米能级位置的差异,该发现为开发新型非易失性存储器(FeRAM)的界面优化策略提供了重要指导。
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