La/B4C多层膜界面质量随周期数增加的演变机制及其在极紫外光学中的应用

（编辑推荐）本研究通过X射线反射率（XRR）、原子力显微镜（AFM）等技术系统分析了La/B4C多层膜界面扩散与粗糙度随周期数（25-300）的变化规律，揭示了界面不对称性的化学扩散主导机制，为极紫外（6.7 nm波段）高反射率光学元件的制备提供了关键理论依据。

　　

Highlight

La/B₄C多层膜的界面质量随周期数增加呈现显著不对称性：B₄C-on-La界面扩散（0.55 nm）远超La-on-B₄C（0.29 nm），而界面粗糙度分别从0.12 nm和0.1 nm增至0.3 nm和0.19 nm。这种不对称性主要源于化学活性差异导致的扩散行为分化。

Result and discussion

XRR拟合曲线显示（图1），随着周期数从25增至250，布拉格峰锐度提升，但300周期时出现峰分裂，表明层间失稳。TEM证实250周期样品具有平坦层状结构，而X射线漫散射（XDS）分析显示界面粗糙度呈幂律增长趋势，符合动态粗糙化理论。

Conclusion

1.B₄C-on-La界面宽度始终大于La-on-B₄C，证实扩散不对称性；

2.250周期样品展现最优界面平整度；

3.界面粗糙度增长趋势揭示沉积过程中能量累积效应。该研究为极紫外光学器件开发提供了界面调控的重要范式。