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综述:掺杂改性和多层结构优化Sb-Te材料数据存储性能的研究进展
【字体: 大 中 小 】 时间:2025年06月13日 来源:Materials Science in Semiconductor Processing 4.2
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这篇综述系统总结了通过掺杂改性和多层结构设计提升Sb-Te相变材料性能的最新进展,重点探讨了元素掺杂(如C、N、Mg等)和GeTe/Sb-Te多层堆叠对材料热稳定性(Tc )、电学性能(电阻比≥102 )及结晶速度(~10 ns级)的调控机制,为下一代高速低功耗相变存储器(PCRAM)和神经形态计算提供了材料设计思路。
Characteristic of Sb-Te binary system
Sb-Te二元体系在16–37 at.% Te范围内存在稳定的δ单相区(熔点544.58°C),其岩盐结构八面体配位赋予优异的非晶态稳定性和超快相变速度,但纯Sb-Te的热稳定性(Tc
)不足制约商业化应用。
Performance details
关键性能指标包括结晶温度(Tc
)、结晶活化能(Ea
)和10年数据保持力(T10
)。例如传统Ge2
Sb2
Te5
(GST)的Tc
仅170°C,而掺杂N的Sb-Te可将Ea
提升至2.5 eV以上。
Effect of doping modification
单元素掺杂中,C/N通过形成强共价键抑制原子迁移,使Tc
提高至200°C;金属元素如Al/Mg则通过晶格畸变加速成核。多元共掺杂(如Al-Sc)可协同优化电阻比(103
)和功耗(RESET能耗降低30%)。
Impact of multilayer structure
GeTe/Sb-Te超晶格结构通过界面效应平衡性能:GeTe层提供高Tc
(~300°C),Sb-Te层维持亚纳秒级结晶速度。这种"三明治"结构使器件循环寿命突破109
次。
Comparison between strategies
掺杂更易实现性能定向调控(如Cu掺杂使Tc
提升40%),而多层结构在兼顾速度与稳定性方面更具优势。最新研究表明,SbSe/Sb-Te异质结可实现5 ns级相变与150°C T10
的完美平衡。
Summary and outlook
未来需开发机器学习辅助的高通量掺杂筛选方法,并探索原子层沉积(ALD)技术制备三维堆叠器件,以满足存算一体和边缘计算需求。
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