新型多层膜 4H-SiC 透明辐射冷却器:为电子设备散热带来新突破

【字体: 时间:2025年03月25日 来源:Cell Reports Physical Science 7.9

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  本文展示了一种新型透明 4H-SiC 辐射冷却器,可降低微型投影仪温度,为电子设备散热提供创新方案。

  ### 研究背景
增强现实(AR)和虚拟现实(VR)技术近年来发展迅速,其眼镜设备在娱乐、教育等多领域广泛应用。然而,随着设备功能增强、体积缩小,发热问题愈发严重。使用时,集中加热区域最高温度超 60°C,这不仅降低电池性能,还可能导致用户不适甚至受伤。
目前电子设备常用的散热方法有热传导和热对流。热传导通过高导热率(HTC)材料将热量从发热部件传递到冷却端,常用于中央处理器和发光二极管(LED)照明;热对流则是通过流体(主要是空气)运动传热,分为自然对流(如铜鳍片、热虹吸管热管)和强制对流(如风扇、泵送液体冷却)。但这两种方法通常需要特殊冷却系统或额外散热区域,会加重电池负担,不利于设备小型化。

辐射冷却作为另一种散热方式,通过调节发射电磁波波长与大气窗口匹配,使热量穿过大气层散发到约 3K 的外太空,实现与太空冷环境的热交换,且无需额外电能、不产生废热,已在建筑、车辆、纺织品等领域应用。此前有研究提出在玻璃上设计多层结构的透明辐射冷却器,但多采用低导热材料,限制了散热效果。因此,如何将辐射冷却与高导热材料结合,并应用于 AR 设备的散热成为挑战。

研究设计


为解决 AR 眼镜散热难题,研究人员提出创新方案,将光学镜片作为散热部件,利用其大面积实现辐射冷却功能。他们选用半绝缘碳化硅(SiC)作为智能眼镜镜片材料,并在其表面设计多层结构,作为抗反射层和红外发射器,满足镜片透光性和冷却能力的双重要求。

根据热力学平衡定律,净冷却功率由表面热辐射、表面与环境间的传导和对流换热、太阳吸收能量以及大气辐射四部分组成。提高散热效率的有效方法是增强热辐射和非辐射热交换(传导和对流),同时避免在太阳光谱(0.3 - 2.5μm)吸收能量。热辐射与物体表面发射率和发射面积有关,而大气在 8 - 14μm 波长范围透明度高,称为大气窗口,优化此窗口内的发射率可实现高效散热。

SiC 作为冷却镜片基板有独特优势。其室温下热导率高达 347W/mK,远高于石英;同时,因其宽带隙(3.23eV),在可见光下呈半透明,利于提高冷却器透明度。但裸 SiC 在可见光谱的固有透射率低于 0.6,辐射冷却性能也需提升,因此研究人员在 SiC 基板上设计纳米级多层膜。

多层膜由高折射率材料(如 TiO2,n = 2.32)和低折射率材料(如 SiO2,n = 1.46)交替组成,在大气窗口作为发射器,利用多层干涉原理使设备在可见光下高度透明。每层厚度通过非线性单纯形算法优化,以提高可见光透射率。同时,选用氧化铟锡(ITO)作为中间层,因其在可见光透明、在中红外(MIR)光高反射,能与吸收层形成不对称法布里 - 珀罗(FP)腔,增强大气窗口内的吸收,减少多层膜厚度需求。此外,设计中还考虑了蓝光阻挡,以保护用户眼睛健康。最终设计的冷却器在 8 - 14μm 波长范围内平均发射率为 0.76,在 455 - 700nm 波长范围内平均透射率为 0.97。

实验验证


在非线性单纯形优化后,确定了 SiC 表面多层膜的最终结构和每层厚度,两侧总厚度均为 1.54μm。研究人员据此制备了 HTC 透明辐射冷却器,并对其性能进行测量。

利用磁控溅射在半绝缘 4H-SiC 上沉积 ITO 薄膜,用电子束蒸发交替沉积氧化硅和氧化钛层。扫描电子显微镜(SEM)图像显示,沉积层与设计相符。通过 UV - 可见(UV-vis)近红外(NIR)分光光度计测量,裸半绝缘 4H-SiC 在 400 - 700nm 范围内平均透射率仅为 0.55,而涂覆后的 4H-SiC 透射率提高到 0.76,在 455 - 700nm 设计范围内,平均透射率从 0.56 显著提高到 0.91,证明多层结构在增强透射率和阻挡蓝光方面的有效性。

用频域热反射(FDTR)测量多层薄膜的热导率,结果显示其面内热导率为 4.417W/m?K,面外热导率为 2.742W/mK,多层膜与 SiC 基板间的界面热阻为 1.686×106W/(m2K)。有限元模型模拟表明,在薄膜厚度尺度上,多层膜对热传导影响较小。

测量涂覆 4H-SiC 在太阳光谱的吸收,发现其在 0.3 - 2.5μm 波长范围内吸收率低;用傅里叶变换红外光谱(FTIR 光谱)测量其在大气窗口的吸收率,结果显示多层结构使 SiC 平均吸收率从 0.49 提高到 0.78,测量数据与模拟结果高度一致。

通过热板模拟电子设备热源,用红外相机测量不同样品在大气窗口的辐射温度,计算得出石英、裸 SiC 和涂覆 SiC 的发射率分别为 0.9、0.59 和 0.8,证明多层膜增强了样品在大气窗口的辐射性能。将裸 SiC、涂覆 SiC 和石英垂直放置在热板上加热,红外相机观察发现 SiC 热分布更均匀,显示出其优越的热导率,能有效散热。

为减少镜片面向人眼一侧的热辐射,研究人员设计了不对称辐射镜片,将 ITO 层置于吸收层外侧,并在最外层添加 SiO2层。制备的样品在 455 - 700nm 范围内平均可见光透射率为 0.89,接近模拟值 0.95;在大气窗口,高辐射侧平均发射率为 0.72,低辐射侧为 0.25,与模拟值相符,验证了设计的有效性。

将微型投影仪分别与涂覆 SiC 晶圆和裸 SiC 晶圆连接进行实验,在室外晴朗天空下,涂覆 SiC 使微型 LED 投影仪温度从 50.3°C 降至 27.2°C,降低了 23.1°C,而裸 SiC 仅使温度下降 17.7°C;在室内,连接涂覆 SiC 镜片的 DLP 微型投影仪表面温度从 54.3°C 高于环境温度降至 40.4°C,且在有空气对流时,涂覆 SiC 镜片的散热效果更显著,再次证明新型透明辐射冷却器的高效冷却能力。

稳定性和耐久性评估


实际应用中,智能眼镜镜片的稳定性至关重要。研究人员按照商业眼镜标准,对涂覆 SiC 镜片进行了一系列严格测试。

在湿热环境下进行 340nm 紫外线照射 120h(65°C,喷水,符合 ASTM G155 - 2021 标准)后,镜片在 400 - 700nm 范围内平均可见光透射率保持在 0.746,平均发射率从 0.755 略微增加到 0.761。经过 5 次 85°C 至 - 65°C 的热循环(每次温度保持 2.5h,符合 GB/T 12085.2 - 2022 标准),镜片光学性能变化可忽略不计。将镜片浸入 37°C 的 4.5wt% 氯化钠溶液 7h(符合 GB 10810.4 - 2012 标准)后,可见光透射率和红外发射率变化极小。此外,镜片的耐磨性和表面硬度也符合商业眼镜镜片的性能要求,表明其具有良好的稳定性和耐久性。

研究总结


本研究提出了一种智能眼镜热管理方案,将热导体、大气窗口红外发射器与辐射冷却相结合。使用 SiC 替代传统石英镜片,利用其高导热性和可见光半透明性,结合表面多层膜结构优化性能。这种方案不仅提高了散热性能,还减轻了眼镜重量、延长了电池寿命,有望推动智能眼镜向更轻薄、视野更广阔的方向发展。同时,该策略在其他具有透明组件的电子设备,如智能手机、电脑和太阳能电池等领域也具有潜在应用价值,为电子设备散热提供了创新思路和有效解决方案。
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